多価重イオンビームを使った研究
多価重イオンビーム生成装置
| 研究内容 |
| １）ECRイオン源に関する研究 |
| ２）多価イオンを用いた微細加工 |
| ３）多価イオンを用いた物性改変 |
| 計算コード･データベース |
| SRIM (Particle interactions with matter) |
| CASINO (Electron trajectory in solids) |
| NIFS (Atomic & Molecular Databases) |
ATIMA (Atomic interaction with matter) |
| 文献 |
| イオンビーム工学入門（つくばリポジトリ） |
| 高エネルギー加速器セミナー（KEK） |